LGH-0510-B-EH 542-720光柵式測微儀

 Mitutoyo日本三豐

 542 系列 激光全息光柵式測微儀
LGH (0.01μm 分辨力、0.005μm 分辨力)
• 在10mm 的寬范圍內實現了與激光干涉儀
相同的0.005μm 或0.01μm 的高分辨力和高
精度。
• 緊湊性的機身使得裝置本身小型化，不僅
可以作為高精度零部件的測量以及高精度
定位· 控制裝置長度測量的傳感器，還適用
于作為各種測量機的標準規。
• 新型號采用光電式反射型線性編
碼器，在低價格下實現了0.01μm
高分辨率，指示精度0.2μm，測
量范圍10mm的寬范圍。
• 響應速度與以往產品相比提高了
2.8倍(250mm/s⇒700mm/s)，兼顧
了高精度和高速度。
• 裝配新開發的超高精度透射型線
性編碼器，實現0.005μm(5nm)的
高分辨力。
• 在測量范圍10mm的寬范圍內實
現了指示精度0.1μm。適用于標
準規的校正·賦值，以及用于測
量機的基準器。
• 也具有低測力規格產品：根據用途可以選
擇低測力規格，可以測量易變形工件和高
性能膠片等。
• LGH 系列是與計數器的組合規格

 分辨力0.005μm、指示精度0.1μm 類型
貨號542-720 (標準型) 542-721 (低測力型)
型號LGH-0510-B-EH LGH-0510C-B-EH
測量范圍10mm
分辨力0.005μm (0.01, 0.05, 0.1μm 用計數器可切換)
指示精度(20ºC)*1 0.1μm
重復精度(20ºC)*1 0.02μm (2σ)
量化誤差(20ºC)*1 0.05μm
測力
測桿朝下0.65N 以下約0.1N
測桿水平0.55N 以下不可使用
測桿朝上0.45N 以下不可使用
位置檢出方式超高精度透射型線性編碼器
響應速度250mm/sec
重量約370g
測頭硬質合金SR5 (M2.5 (P=0.45) × 5mm) 標準測頭120058
裝夾套筒ø15mm
軸承類型高精度線性滾珠軸承
輸出電纜長度約2m
運行溫度(濕度) 范圍15ºC ～ 25ºC (基準溫度20ºC) / 30 ～ 60％ RH (無冷凝)
存儲溫度(濕度) 范圍− 10ºC ～ 60ºC / 20 ～ 80％ (無冷凝)*2

■功能
●ABS(Absolute) 測量功能
●INC(增量)測量功能
●調零功能
●預調功能(可設定2個預調值。不可用于SD-G、
SD-AX、SD-D和SDV-D)
●雙讀數功能(僅可用于SD-F 或SDV-F)
●測量方向切換功能(不可用于SD-E、SDV-E)
●數據保持功能*
●測量值組合錯誤
●電池低電壓警告
●輸出功能
* 使用SD-AX、SD-D或SDV-D時，需要一個可選的
保持裝置來激活保持功能。同時帶輸出功能的激
活不可用。SD-G在特定訂單中也可用。
* 這些裝置采用1.5V氧化銀電池作為電源。因此，
當這些裝置直接固定在高電壓機床框架上時，可
能會出現顯示數字錯誤等故障和錯誤。用戶手冊
中給出了解決方法。

LGH-0510-B-EH 542-720光柵式測微儀