X射線熒光膜厚度計COSMOS-3X

小空間和空間測量
極小部件，具有出色的可操作性和
精度

·采用雙濾波器實現精度，
在條件下進行測量·多任務功能可實現其他處理，包括在測量過程中創建報告
·準直器小值為0.05φmm，可測量極小部分

X射線熒光膜厚度計COSMOS-3X的特點

雙濾鏡采用

除數字濾波器外，機械濾波器（雙濾波器）可用于在件下進行測量，以便始終獲得精度。

完整的報告準備功能

通過采用MS-Windows軟件，您可以輕松捕獲測量屏幕并具有完整的報告創建功能。即使使用測量，多任務也可以進行其他處理，包括創建報告。

5種內臟器官

準直器的小直徑為0.1φmm，可以測量極小的部件。標準·0.1,0.2,0.5,1.0,2.0 
另外，有兩種特殊規格可供選擇。
· 
0.05,0.1,0.2,0.3,0.5·0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5

自診斷功能和X射線管維護功能

自診斷功能可以快速解決設備故障。此外，還增加了X射線管使用時間和耐久時間顯示功能，以支持維護安全。

薄膜厚度測量期間的光譜顯示

使用多通道進行頻譜分析高速處理可實現對象的簡單操作和頻譜顯示。（處理速度約2-3秒）

顯示測量單位監視器圖像

將X射線照射單元裝載在Windows屏幕上并顯示X射線照射單元。準直器使得可以改變放大率。

關于Be window X射線管（選項）的性能提高（高精度）

            我們為X射線熒光膜厚度計EX-731準備了Be X射線管（可選）
            。通過使用該選項，
            可以在Cr測量和Ni測量中大大提高重復測量的精度。

            關于績效改進的說明

            高能量（高原子序數）Sn 
         的測量與以前相同，但是在測量低能量（低原子序數）Cr和Ni的情況下，取決于膜厚度，Cr超過3倍，Ni超過2倍或更多重復
         倒鉤精度有所改善。如果在兩個層測量表面層的Au是略中間
         層的Ni已經由約20％提高接收貢獻的精度。熒光X射線法的厚度計
         在生成其中獲得的熒光X射線強度的過程中的情況下，重復測定精度（標準偏差）
         是由于統計波動確定的，施加成為窗口的X射線管（可選）
         由此可知，與以往的標準機相比，在Cr的情況下，獲得了約9倍以上的熒光X射線強度
         。因此，可以在短時間內以與傳統相同的精度進行測量。
         請考慮使用此Be窗口X射線管。

測量屏幕

直方圖

X射線熒光膜厚度計COSMOS-3X的規格

注意：規格如有更改，恕不另行通知。

日本電測膜厚計COSMOS-3X  日本電測膜厚計COSMOS-3X